Trong lĩnh vực sản xuất màn hình bán dẫn hoặc tinh thể lỏng, tích hợp thiết bị đã tăng lên trong những năm gần đây. Trong sản xuất một thiết bị được gọi là mạch tích hợp quy mô rất lớn, cần có mô hình tốt từ 1 micron trở xuống. Trong một quá trình sản xuất như vậy, bụi mịn hoặc một lượng rất nhỏ tạp chất khí được lắng đọng hoặc hấp phụ trên mô hình dây điện, dẫn đến sự cố mạch. Do đó, điều cần thiết là cả khí phản ứng và khí mang với độ tinh khiết cao, nghĩa là chỉ có một vài hạt và tạp chất khí, có thể tồn tại trong các loại khí này. Vì lý do này, cần phải sử dụng một ống mao mạch bằng thép không gỉ hoặc một thành viên để sử dụng một loại khí như vậy có độ tinh khiết cao, và bề mặt bên trong của nó được sử dụng như một chất gây ô nhiễm để phát ra các chất ô nhiễm, chỉ với một lượng hạt và khí tối thiểu. Ngoài các khí trơ như nitơ và argon, nhiều loại khí được gọi là khí đặc biệt cũng được sử dụng làm khí để sản xuất chất bán dẫn. Ví dụ về các loại khí đặc biệt bao gồm các khí ăn mòn như clo, hydro clorua và hydro bromide, và các khí không ổn định về mặt hóa học như ủ chua. Cái trước đòi hỏi khả năng chống ăn mòn khí, trong khi cái sau đòi hỏi hiệu suất không xúc tác.
Cho đến nay, để giảm sự lắng đọng hoặc hấp phụ của bụi hoặc nước, bề mặt bên trong của bộ phận được sử dụng để sản xuất khí bán dẫn đã được làm mịn cho đến khi độ nhám bề mặt Rmax của nó là 1 micron hoặc ít hơn. Bản vẽ lạnh, đánh bóng cơ học, đánh bóng hóa học, đánh bóng hoặc kết hợp chúng có thể được sử dụng như một phương pháp để làm mịn bề mặt bên trong hoặc các bộ phận của đường ống. Tuy nhiên, một vật liệu rất mịn với giá trị từ 1 micron trở xuống chủ yếu thu được bằng cách đánh bóng điện phân. Bề mặt bên trong của đường ống hoặc tương tự được làm mịn, sau đó được làm sạch bằng nước có độ tinh khiết cao và sấy khô bằng khí có độ tinh khiết cao để có được sản phẩm cuối cùng.
Hàn thường được sử dụng khi hàn. Điều này là do hàn có thể đảm bảo độ bền cao và độ kín không khí tốt của đường ống. Trong các đường ống, khí trơ có độ tinh khiết cao, thường là argon, được sử dụng như một loại khí bảo vệ, và bề mặt bên trong của nó được tiếp xúc với khí có độ tinh khiết cao thông qua đường ống để tránh làm nóng một phần ô nhiễm và oxy hóa đến nhiệt độ cao càng nhiều càng tốt. Ngoài ra, trong đường ống đặt, đường ống được làm sạch bằng argon hoặc nitơ có độ tinh khiết cao để loại bỏ các hạt này và vẫn còn trong đường ống. Khi đường ống dài và phức tạp, chẳng hạn như đường ống, phải mất vài ngày đến vài tuần. Gần đây, việc giảm chi phí trong việc xây dựng một nhà máy sản xuất chất bán dẫn và hoạt động sớm của nhà máy đã được yêu cầu mạnh mẽ. Để đáp ứng các yêu cầu này, bây giờ cần phải rút ngắn thời gian làm sạch.
Ngoài các tính chất trên, đường ống và các thành viên khí có độ tinh khiết cao cần phải có khả năng hàn, khu vực khớp cần thiết cho con dấu cơ học và khả năng chống mài mòn; khi các bộ phận như khớp được gia công, điểm yếu Mach là cần thiết. Mặt khác, người ta đã biết rằng các loại khí đặc biệt có khả năng chống ăn mòn và tính chất không xúc tác, cần thiết để sản xuất ống bán dẫn hoặc các loại khí tương tự, có thể được cải thiện bằng cách làm nóng bề mặt thép không gỉ theo cách như vậy Khí quyển, trong bầu khí quyển như vậy, áp suất một phần của oxy được kiểm soát. Điều đáng chú ý là chất khách quan của đường ống được báo cáo là thép không gỉ SUS 316L trong tài liệu này.
Khả năng chống ăn mòn cần thiết nêu trên và hiệu suất không xúc tác không chỉ dành cho đường ống dẫn khí. Nhu cầu tương tự cũng được làm bằng thép không gỉ được sử dụng trong các thiết bị khác nhau để sản xuất chất bán dẫn, một trong số đó có chế biến wafer tốt. Thép không gỉ Austenitic, đặc biệt, loại SUS 316L chủ yếu được sử dụng làm vật liệu cho đường ống và các thành viên thiết bị khác. Ấn phẩm bằng sáng chế Kokai của Nhật Bản số 161145/1988 tiết lộ một loại thép không gỉ austenitic cao không tiêu chuẩn của ống thép được sử dụng trong phòng sạch. Các vùi phi kim loại hạn chế việc giảm hàm lượng mangan, silicon, nhôm và oxy, do đó làm giảm sự phát sinh của các hạt từ bề mặt bên trong của đường ống.
Ngoài ra, Nhật Bản đã xuất bản Ấn phẩm bằng sáng chế số 198463, 1989 /, trong đó tiết lộ một thành viên thép không gỉ cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Những thành viên này là khí oxy hóa sau khi đánh bóng điện hóa bằng thép không gỉ. Trong một số điều kiện nhất định, một lớp oxit có độ dày từ 100 đến 500 angstroms được hình thành trên đó và được làm nóng theo cách mà số lượng nguyên tử Ni ở phần bên ngoài là Tỷ lệ